arXiv:2603.15584 - PINN半导体光刻仿真

2026年3月20日上传至arXiv的研究论文，展示了利用物理增强神经网络（PINN）和神经算子（Neural Operators）解决三维掩模电磁波衍射问题的最新成果。

技术突破

• 应用场景：针对13.5nm工业光刻系统。
• 技术方法：利用PINN和神经算子求解三维掩模电磁波衍射问题。
• 关键成果：在无监督模式下实现高精度仿真。

意义

这标志着AI+仿真（AI4Science）在尖端制造领域的应用从简单的代理模型向直接求解复杂物理偏微分方程（PDE）跨越。

在维基中的角色

该论文是[[物理增强神经网络]]概念的核心技术案例，代表了工业智能"物理化"趋势的学术前沿。